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勻烤膠一體機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式 觸摸式人機交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài) 高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求 可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能 專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標 可選配置空氣凈化單元（FFU）

顯影機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 全自動顯影擺臂,可實現(xiàn)顯影液、去離子水、氮氣的自動噴灑及吹干 根據(jù)工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴 高精度伺服控制系統(tǒng),性能穩(wěn)定 升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺 根據(jù)工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能

噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝 全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板 高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能 供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào) 高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào) 觸摸式人機交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控

玻璃制刀機 采用平衡斷裂法，確保制造出優(yōu)秀的刀片 取出抽屜采用雙導軌結(jié)構(gòu)，更方便、穩(wěn)定、耐用 玻璃刀滾輪可自動鎖定、復(fù)位，有效降低操作失誤率 玻璃刀壓力可調(diào)，適配不同厚度的玻璃 玻璃條定位機構(gòu)操作簡單，穩(wěn)定可靠 刀肩大小調(diào)節(jié)方便，提高操作精度 配載劃痕長度快速切換裝置，操作便捷

超薄切片機 全新設(shè)計，切片運動采用直流無刷電機，提高運動穩(wěn)定性 人性化設(shè)計，配載退刀流程，減少樣品損壞度 數(shù)字化操作界面，一鍵回程按鈕，操作便捷 設(shè)備適配多種寬度刀具，適配各項工藝操作 配載分離式控制盒槽孔，保證切片質(zhì)量 外接式體式顯微鏡，可實時記錄實驗步驟

金屬圓片沖孔儀 全新設(shè)計的TEM沖樣器，臥式工作方式，簡單輕松，無應(yīng)力變形和明顯毛刺，性能可靠耐用無需維護 沖頭采用高品質(zhì)模具鎢鋼，數(shù)控磨床精密加工成型，同軸度高，表面光潔，配合間隙可控，減少毛刺的產(chǎn)生 沖頭經(jīng)過熱處理進一步提高表面硬度，可實現(xiàn)萬次以上沖切，免維護 沖樣器基座，采用鋁合金加工，輕便靈巧 杠桿式用力方式，力道適中，壓合輕松，有適當回彈力 自動卸料機構(gòu)，沖切后樣品自動頂出落入收集盒，拿