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1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積
簡(jiǎn)要描述:

1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積介紹:是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其最高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1700X-HVC
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2026-03-04
  • 訪  問(wèn)  量:6802

詳細(xì)介紹

價(jià)格區(qū)間面議儀器種類管式爐
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池
工作電壓:AC 208-240V單相, 50/60Hz
    1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)介紹:

型號(hào) GSL-1700X-HVC
殼體 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng)
儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組
爐管 材質(zhì):高純氧化鋁陶瓷管
一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
(標(biāo)配尺寸) (60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm
(選配尺寸) (80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm
功率: 6KW
工作電壓: AC208-240V單相,50/60Hz
加熱元件: 8根1800°cgradeMoSi2heatingelement
工作溫度: 最高工作溫度.:1650°C(<2h)
連續(xù)工作溫度 1600°C
升溫速率 ≤5°C/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度 457mm(18”)
溫控系統(tǒng) 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
控溫精度:±1°C
控溫儀表操作視頻
熱電偶:B~型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
真空法蘭 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
法蘭上帶有一機(jī)械壓為表
兩個(gè)精密針閥
一個(gè)KF-25連接器和KF-25轉(zhuǎn)KF-40抽氣接口
一個(gè)1/4~卡套接買
1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)外形尺寸 550x380x520mm
高真空機(jī)組 功率:100~110W
工作電壓 AC208-240V單相,50/60Hz
外形尺寸 600(L)x600(W)x700(H),mm
殼體
殼體尺寸 600(L)x600(W)x700(H),mm
最大承載量 600Lbsontop
分子泵控制面板 LCD數(shù)字顯示
控制面板 一鍵操作:按下"start”鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動(dòng)啟動(dòng))
系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率 根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
抽氣速率 N2:33L/s
He:39L/s(2340L/minute)
H2:32L/s
工作范圍 1000mbarto<1E-7mbar
質(zhì)子流量控制器
殼體 采用316不銹鋼制作
混氣箱尺寸:Φ80X120mm
外形尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm
MPC控制面板(Click”to"enlarge),可根據(jù)客戶要求定制
功率 18W
工作電壓 AC208-240V,單相,50/60Hz
質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

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