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1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積介紹：是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其最高工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
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